真空蒸鍍用膜厚感測器
產品概要
真空蒸鍍用膜厚感測器（以下稱為『膜厚監測水晶』）是在真空成膜過程中使用，用於偵測實際膜厚的感測器。
膜厚監測水晶 6 MHz
| 項目 | 6A100W 6A121P | 6D100W |
|---|---|---|
| 外形尺寸 | Φ13.9 | Φ13.9 |
| 電極材料 | Au | Al |
| 中心頻率 | 5,985kHz | 5,985kHz |
| 頻率允差 | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
| 串聯電阻 | 15Ωmax | 15Ωmax |
| 操作溫度範圍 | 25~120℃ | 25~120℃ |
| 頻率溫度特性 | ±50ppm | ±50ppm |
膜厚監測水晶 5MHz
| 項目 | 5A500 5A510 5A511 | 5B500 5B511 | 5D500 5D510 |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | Φ12.5 | Φ12.5 | Φ12.5 |
| 電極材料 | Au | Ag | Al |
| 中心頻率 | 5,000kHz | 5,000kHz | 5,000kHz |
| 頻率允差 | ±5.0kHz | ±5.0kHz | ±5.0kHz |
| 串聯電阻 | 15Ωmax | 15Ωmax | 15Ωmax |
| 操作溫度範圍 | 25~120℃ | 25~120℃ | 25~120℃ |
| 頻率溫度特性 | ±50ppm | ±50ppm | ±50ppm |
什麼是真空蒸鍍用膜厚感測器
真空蒸鍍用膜厚感測器（以下稱為「膜厚監測水晶」）是在真空成膜過程中使用，可用來偵測膜厚的感測器。 請參考下方的簡略示意圖。
加熱後的蒸鍍材料會與基板一樣，同時附著在膜厚監測水晶上。 當蒸鍍材料附著於膜厚監測水晶時，其質量變化會使水晶的振盪頻率產生變化。 透過量測這些頻率變化量，即可計算膜厚與成膜速度（Rate），並在真空蒸鍍設備等成膜裝置中， 將資訊回饋至蒸發源的加熱控制系統，使基板上的蒸鍍速度得以維持穩定。
本公司之膜厚監測水晶採用先進技術設計與製造，能有效抑制振盪頻率的偏差，提供更高穩定性的感測器。 此外，在客戶委託的水晶回收再生服務中，我們也會將結果回饋給客戶，以確保品質與透明度。
常見問答（Q&A）
水晶振盪器具有表面附著物質時會使振盪頻率下降的特性。
利用此特性，可作為奈米等級超薄膜的膜厚感測器。
一般建議使用金電極（Au），因其在保存期間較不易劣化，穩定性高。
若為濺鍍（Sputter）製程，建議使用銀電極（Ag）。 銀電極在熱製程中可抑制因熱造成的頻率測量誤差。 但銀容易氧化或硫化，需特別注意保存環境。
鋁電極（Al）則適用於高應力膜的蒸鍍， 多用於光學膜成膜的客戶。
以上僅為各電極的特性說明，實際選擇仍需依據您的製程條件，歡迎隨時與我們聯繫。
5 MHz 對應直徑 12.5 mm，
6 MHz 對應直徑 14 mm。
使用壽命依據客戶的製程條件與材料而定。 建議在成膜速率（Rate）開始不穩定前進行更換，以確保測量準確。 本公司建議以水晶厚度的 1% 為更換基準， 例如 6 MHz 水晶約為 3 μm。
水晶可測量奈米等級膜厚，屬於極為精密的元件。
表面若有刮傷或汙染，可能導致誤測。
請避免以徒手操作，建議使用鑷子等工具，
並盡量夾持於靠近邊緣的位置。
本公司亦販售適用於水晶操作的專用鑷子，歡迎洽詢。
請避免高溫高濕環境，建議使用乾燥箱（Desiccator）保存。
在乾燥箱中保存的情況下：
金電極（Au）：未開封狀態約可保存 6 個月
銀電極（Ag）與合金電極（Alloy）：未開封狀態約可保存 3 個月
開封後請儘速使用，建議約 1 個月內使用完畢